Etude de l’interaction plasma / surface pour développer des procédés innovants de collages directs

  • Doctorat
  • GRENOBLE
Nom de l'entreprise / du laboratoire: CEA-Leti
Adresse web: https://www.minatec.org/fr/theses/etude-de-linteraction-plasma-surface-pour-developper-des-procedes-innovants-de-collages-directs/
Encadrant: Aurélien Sarrazin / Thierry Chevolleau / Nicolas Posseme
Date de début: octobre 3, 2022
Durée: 3 ans

En microélectronique, l’élaboration de structures SOI (Silicon On
Insulator) pour la fabrication de circuits intégrés de nouvelle
génération s’appuie souvent sur la technologie de collage par
adhérence moléculaire. Cette technique repose sur le collage direct
de deux surfaces à l’aide de procédés de traitement de surface à
l’échelle nanométrique. Ce collage moléculaire peut être réalisé au
moyen d’une activation par plasma. Dans le cadre de cette thèse,
nous nous proposons d’étudier et de développer de nouveaux
procédés d’activation par plasma afin de répondre aux besoins des
industriels. L’objectif de la thèse est d’étudier de manière
approfondie l’interaction du plasma avec la surface afin de mieux
comprendre les mécanismes de collage et ainsi optimiser au mieux
le procédé. Cette étude présente un fort potentiel d’innovation
comme le démontre de premiers essais qui ont conduit au dépôt de
brevets et qui seront exploités au cours de la thèse. Pour mener à
bien vos recherches, vous profiterez de l’environnement privilégié
qu’offre le CEA-Leti permettant d’utiliser des équipements à l’état
de l’art technologique à la fois en termes de développement de
procédés et en termes de caractérisation (plasma et surface). En
effet, vous bénéficierez d’équipements d’activation par plasma de
dernière génération couplés à des dispositifs de diagnostic du
plasma in-situ (OES). De nombreux équipements d’analyse de
surface physicochimique et topographique seront aussi disponibles
(FTIR, XPS, AFM, OCA, etc.). La thèse se déroulera dans un
environnement hautement technologique du CEA-Leti de Grenoble :
les salles blanches du Département des Plateformes
Technologiques et de la Plateforme de Nano-Caractérisation (PFNC).

Description détaillée:

Pour postuler, envoyez votre CV et votre lettre de motivation par e-mail à aurelien.sarrazin@cea.fr