Thèse Procédés de microfabrication de puces microfluidiques sur matériaux poreux

  • Doctorat
  • Orléans
Nom de l'entreprise / du laboratoire: GREMI, Université d'Orléans, CNRS
Encadrant: Arnaud Stolz & Thomas Tillocher
Date de début: octobre 3, 2022
Durée: 3 ans

Le travail de thèse sera essentiellement expérimental et portera sur les procédés d’élaboration et la qualification de nouvelles puces microfluidiques qui seront utilisées pour la géologie ou la biomédecine. La fabrication se fera ab-nihilo avec la conception des masques de photolithographie, ainsi que la mise au point d’un process-flow.
L’ensemble des réalisations technologiques sera effectué par le doctorant (photolithographie, dépôt ou gravure de couches minces (métaux, oxydes), bonding, etc.) dans la salle blanche du GREMI ou au sein du GIS CERTeM (sur le site de ST Microelectronics à Tours). En particulier, on s’attardera sur les mécanismes et les procédés de gravure plasma sans endommagements des couches minces poreuses. Les caractérisations matériaux (MEB, ellipsométrie entre autres) et électriques (station sous pointes) permettront un suivi tout au long du procédé de fabrication. Enfin, les caractérisations microfluidiques (plasma et liquide) se feront aussi bien au GREMI qu’à l’ISTO.

Description détaillée:

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