Comparé à un plasma diode de nitruration, largement utilisé industriellement, le plasma à écran actif permet de découpler la production du plasma de l’interaction de celui-ci avec la surface des pièces traitées. Des études préliminaires ont montré que ces plasmas à écran actif possèdent une réactivité supérieure à celle des plasmas diode, notamment par la présence d’espèce moléculaires fortement excitées. Toutefois, les mécanismes de production de ces espèces ainsi que leur cinétique réactionnelle, tant au sein du plasma que vis-à-vis de la surface, sont peu, voire pas connus.
L’équipe PPS dispose d’une telle source à écran actif reliée à un générateur unipolaire DC pulsé. De récentes études ont montré que la contamination des surfaces (écran et parois) demeure une problématique importante. Ces investigations ont remis au cœur du débat scientifique le rôle de l’hydrogène dans les processus de décontamination mais également de production d’espèces actives de type NHx.
Ainsi, le travail de thèse consistera à réaliser une étude approfondie de ces plasmas afin de déterminer les conditions les plus favorables à la production d’espèces réactives. Il s’agira également d’étudier la cinétique de ces espèces et leur interaction avec la surface des matériaux traités.